Название: PRINCIPLES OF PLASMA PROCESSING
Автор: Chen F.F., Chang J.P.
Издательство: Kluwer Publishers
Год: 2002
Страниц: 249
Формат: PDF
Размер: 15Мб
Качество: отличное
Язык: английский
Отличные лекции по физике плазмы с хорошими иллюстрациями. Один из авторов Ф.Ф. Чен хорошо известен среди специалистов по физ. плазмы. Некотрые книги были переведены на русский язык. Данные лекции написаны простым языком, студенты более-менее знающие англ. язык смогут читать без проблем.
-------------------------------------------------------------
Why study plasma processing? Because we can't get along without computer chips and mobile phones these days. About half the steps in making a semiconductor circuit require a plasma, and plasma machines account for most of the equipment cost in a "fab". Designers, engineers, and technicians need to know how a plasma behaves.