Наименование: Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе
Создатели: Татаренко Н.И., Кравченко В.Ф.
Издательство: Физматлит
Дата выпуска: 2006
Листов (страниц): 192
Расширение: djvu
Объем файла: 3.6 MB
ISBN: 5-9221-0695-3
Качество: хорошее

На страницах настоящего издания представлен подробный анализ актуального положения вещей, а также рассмотрены пути развития вакуумной микро- и наноэлектроники. В книге приведены физико-химические азы процесса формирования нового класса автоэмиссионных наноструктур, которые основываются на нанопористом анодном оксиде алюминия. Представлены интересные итоги анализа их геометрических параметров. Дается элементный состав, а также эмиссионных характеристик. В книге приведены инновационные интегральные технологии формирования наноструктурных автоэлектронных микроприборов. Также рассмотрены системы их межсоединений на базе тонких пленок вентильных металлов, а также рассмотрены их анодные оксиды. В книге приведены физические азы процесса моделирования, а также подсчета характеристик этих микроприборов. Будут интересные читателям также экспериментальные и расчетные данные. Настоящее издание ориентировано на научных и инженерно-технических работников, а также аспирантов и студентов старших курсов, которые изучают сферы физической электроники, микро- и наноэлектроники.