Название: Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок
Автор: Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А.
Издательство: Техносфера
Год: 2007
Страниц: 176
Формат: 60х90/16
Размер: 1,47 Мб
ISBN: 978-5-94836-134-5
Качество: хорошее
Серия или Выпуск: мир материалов и технологий
Язык: русский
В книге обобщено современное состояние вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок.
[hide]Скачать[hide]